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扩散硅压力传感器是众多压力传感器分类的一种,其使用也是较为广泛。下面德图仪器小编将为大家介绍一下扩散硅压力传感器的工作原理,希望能对大家有所帮助。
被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上(不锈钢或陶瓷),使膜片产生与介质压力成正比的微位移,使传感器的电阻值发生变化,和用电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
扩散硅压力传感器工作原理图
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