用实验解析计算洁净室正压送风量方法

前面为大家解析了四种计算洁净室正压送风量方法，在这里东方嘉仪小编再用实验给大家解析更加方便快速的计算洁净室正压送风量方法，希望对大家有所帮助。

了解计算洁净室正压送风量方法前，首先了解下，为什么有时不能达到理想正压？
1、新风补充量不足：重新计算新风需求量
2、泄漏量过大：找出泄漏原因，寻出解决方案
3、排风量太大：主要是工艺排风量超标，重新计算
4、空调回风量太大：重新调节风量

简单计算洁净室正压送风量方法实验——在洁净室建造中为投资方节约能源
合理的正压值对洁净室各项指标的达标及降低运行成本是非常重要的。半导体厂工程设备用电约占全厂用电的49％，冷动机用电占工程设备用电的35％，洁净室空气处理机组用电占工程设备用电的23％。洁净室正压设定值越大，空气处理机组送风量越大，冷动机负荷越高，降低电力的耗用，即减少资源的消耗与污染源的制造。所以基于以上分析可知洁净室内的正压设定直接关系到厂区运行成本。

以某工厂为例，该厂主要由一个150 m2的1000级洁净室和一个100 m2的1级洁净室组成，正压设定值为50Pa，现以其1级洁净室为例计算所需新风量。

计算条件面积100m2，层高3m，高架地板下部空间1m，FFU满布加高架地板系统。窗9扇(1m x 1m)，门1扇(1m x 2.1m)，每小时开启一次，每次持续5秒，风淋室一个，传递箱一个(1m3)，工艺排风1000CMH，整个洁净室气密性良好，正压设定为50Pa。

实验解析计算洁净室正压送风量方法计算过程：
1、缝隙泄漏风量
V=(S1+S2)*3600*1.29*(△P)1/2
(0.01*1*4*9+0.02*1*2+0.02*2.1*2)*3600*50(1/2)*1.29 = 4642 m3/h

2、开门泄漏风量
Q=S3*1.29*(△P)1/2*t*n
(2.1*1)*(50 (1/2)*1.29)*5*1 = 109 m3/h

3、风淋室和传递窗密闭良好，假设无漏风

4、工艺排风量为 1000CMH
控制50Pa正压所需的新风量为 4624+109+1000 = 5733 m3/h
若根据表1经验值估算，控制50Pa正压所需风量为5.3*100*4 +1000= 3120m3/h
取大值5733 m3/h
实际余压阀显示正压为65Pa
业主出于节能考虑，要求降低正压至35Pa。

一、针对FFU风速进行改善
1、通过中控电脑，调整FFU马达转速降低(original: 1,300 rpm)
2、观察洁净室压力值的变化(original: 65 Pa)
3、持续降低转速直至压力为45 Pa
4、记录FFU最后的转速并观察洁净室压力

二、针对(MAU)风速进行改善
1、通过中控电脑调整MAU马达转速(original:45Hz)
2、观察洁净室压力值的变化(original: 45 Pa)
3、持续降低转速直至压力为35Pa
4、记录MAU最后的转速，并观察洁净室压力

三、最终节能效果
1、降低FFU转速
(1)FFU转速由1,300 rpm降至1,100 rpm
(2)共计可节省FFU马达耗电：62 Kw
2、降低MAU转速
(1)调节洁净室压力至35Pa，MAU负载 由45 Hz降至 41 Hz
(2)共计可节省MAU马达耗电：4 kW。
(3)降低洁净室正压同时可减少室外新风(MA)供应量以节省能源。

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